VOCs廢氣處理設備各種工藝的***缺點：
1.噴灑+等離子體。
其核心原理是等離子場分解，其***點是設備占地面積小，主要針對低濃度；缺點：存在一定的安全風險，凈化效果不穩定。
2.噴霧+UV光解。
廢氣處理臭氧分解的核心原理是凈化效果高，處理效果穩定，主要針對中低濃度；缺點：需要控制氧化停留時間。
3.噴霧+光解等離子體。
復合臭氧和等離子體的核心原理是凈化效率高，主要針對中濃度；缺點：存在一定的安全隱患。
4.微生物法。
核心原理是生物降解，***點:無二次污染，設備能耗低；缺點:操作要求高，設備體積***，需要定期補充微生物，維護成本高。
5.RCO催化燃燒法。
催化燃燒設備核心原理是高溫燃燒，***點：主要針對高濃度有機廢氣，污染成分完全分解；缺點：能耗高、運行要求高、設備體積***，存在一定的安全風險。
6.濃縮回收法。
核心原理是提取濃縮，***點：主要用于單一廢氣回收有價值的成分，具有經濟效益；缺點：操作要求高。
