RTO焚燒爐半導體廢氣處理

來源：未知發布日期：2022-07-26 09:11關注次數：

RTO焚燒爐半導體廢氣處理

1、半導體廢氣處理組件

半導體工業廢氣的主要成分是有機廢氣和酸堿廢氣。有機成分：非甲烷碳氫化合物、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿成分：氨、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。

2、工業排放標準

3、半導體廢氣處理方法

一般半導體行業廢氣處理的解決方案如下：

（1）預處理階段：采用噴淋塔對廢水進行預處理，去除粉塵和溶于水的有害氣體。

（2）主要處理階段：這一階段，較為常用和有效的方法有：紫外線光解、生物過濾分解、焚燒和催化燃燒。

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