電子工業的污染主要發生氣體元件的焊接和電路板的表面處理過程中。電子廠廢氣處理主要分為有機廢氣處理和酸堿廢氣處理。有機類：非甲烷碳氫化合物、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類：氨、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等，這些化學物質使用過程中容易揮發，容易造成空氣污染，也容易引起慢性中毒，甚至對周圍人造成急性中毒。

電子廠廢氣處理排放標準如下：

1電子工廠生產過程中，設備或車間排氣管排放的***氣污染物濃度應符合表1規定的限值。

2VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置除滿足表1規定的限值外，還需要控制廢氣中的氮氧化物和二惡英達到表2規定的限值。